光刻膠由樹脂、感光劑、溶劑和添加劑組成,其中的感光劑在光線照射下會(huì)發(fā)生反應(yīng),使曝光區(qū)的光刻膠溶解,這就相當(dāng)于把掩膜上的電路圖案復(fù)制到了芯片基材上。
隨后,再進(jìn)行蝕刻、離子注入、封裝等操作,一枚芯片就制作完成了。
光刻膠中感光劑的選擇,與光源是密切相關(guān)的,這涉及到化合物在不同波長(zhǎng)光線作用下的變化,機(jī)理十分復(fù)雜。
徐云是知道這些概念的。他原本就是物理系的學(xué)生,楓林研究所聘請(qǐng)他的老師前來參與這個(gè)項(xiàng)目,就是因?yàn)槠渲猩婕暗揭恍┕鈱W(xué)方面的問題。他在項(xiàng)目組里耳濡目染了這么久,對(duì)于這些問題自然是非常了解的。
聽到高凡的問題,徐云也只能把心里那些雜念拋開,認(rèn)真地答道:“我們現(xiàn)在研究的重點(diǎn),就是g線光刻膠,這也是目前應(yīng)用最廣泛的。
“i線光刻膠這方面,畢主任在實(shí)驗(yàn)室會(huì)議上提過幾次,讓大家有時(shí)間做一些積累,不過目前條件還不成熟。再至于說krf光刻膠,好像國(guó)外也剛剛開始研究吧?”
“你說i線光刻膠的條件不成熟,是指什么?”高凡問道。
徐云道:“不是我說的,而是畢主任說的?,F(xiàn)在國(guó)內(nèi)根本就沒有使用i線光源的光刻機(jī),國(guó)外也不多,研究i線光刻膠,是不是有些操之過急了?”
“我想跟你說的,就是這個(gè)。”高凡說,“對(duì)了,徐師兄,摩爾定律你聽說過沒有?”
“當(dāng)然聽說過?!毙煸撇环薜卣f,“不就是集成電路上的晶體管數(shù)量,每?jī)赡昃驮黾右槐秵??我們好幾個(gè)老師上課的時(shí)候都提過?!?
“不愧是科大,思維很前衛(wèi)。”高凡翹個(gè)大拇指,贊了一句,卻換來了徐云一個(gè)白眼。
摩爾定律是1965年提出的,不過直到70年代中期才受到人們的重視。隨著集成電路技術(shù)的迅猛發(fā)展,摩爾定律一再得到印證,一時(shí)間在西方科技界和產(chǎn)業(yè)界倍受推崇。
此時(shí)的中國(guó),在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)上完全是小透明,根本不具備評(píng)論半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的資格,因此也就沒什么人會(huì)關(guān)注和提及摩爾定律。
徐云說他有好幾位老師上課時(shí)候都提過摩爾定律,高凡自然是要表示欽佩的。只是以他的身份,擺出這樣一副嘴臉來夸獎(jiǎng)中科大,徐云怎么能不對(duì)他表示一番鄙夷。
“既然你知道摩爾定律,那么你想想看,芯片制造技術(shù)將會(huì)以什么樣的速度發(fā)展?g線光刻機(jī)肯定很快就會(huì)落伍,下一代i線光刻機(jī)會(huì)迅速普及。不出十年,市場(chǎng)主流就會(huì)是krf光刻機(jī)?!备叻操┵┒?。
徐云在心里默想了一下,點(diǎn)點(diǎn)頭道:“你說得有理,不過,這也是國(guó)際市場(chǎng)的潮流吧?咱們國(guó)內(nèi)現(xiàn)在連g線光刻機(jī)都沒能掌握,你說的krf,怎么也得是20年以后的事情了?!?
“我們?yōu)槭裁淳筒荒苊闇?zhǔn)國(guó)際市場(chǎng)呢?”高凡看著徐云,“造光刻機(jī),需要高精密機(jī)床,咱們一時(shí)造不出來??墒枪饪棠z的技術(shù)沒多高的門檻,咱們?yōu)槭裁床荒芴崆耙徊秸碱I(lǐng)這個(gè)市場(chǎng)呢?”
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